半導體等離子清洗機

一、等離子體介紹
1、產品原理
通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質進行氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質，從而優化材料表面性能，實現清潔、改性、刻蝕等目的。
2、行業應用

二、產品介紹

1、產品概述
半導體等離子清洗機(Plasma cleaner)是國內的“數字化大氣等離子清洗機”，一款擁有強大的“CPU”的大等離子清洗機。采用穩定性高的移相全橋軟開關電路，擁有數字通信及模擬通信兩種數據傳輸方式，通過ARM芯片強大的數據處理功能，實現設備數字化控制，客戶產線，可達到中央控制系統統一監控，使清洗效果更穩定、更持久，抗干擾性能增強，減低故障率，控制維護成本，提高產能，有效減低生產成本。

2、產品優勢
（1）數字化控制，顯示屏顯示，實時監控，抗干擾強；
（2）具有十余種故障報警功能，故障排查定位時間縮短80%以上；
（3）支持RS-485/232數字通信接口和模擬通信接口，強大的遠程通信功能；
（4）采用TI品牌的移相全橋軟開關電路和PFC功率因素校正，相對模擬硬開關電路效率可提高10%以上，響應時間小于0.1s，抗干擾性強；
（5）軍工級硬件設計，使用環境溫度范圍可達到-25℃-50℃，適應不同的嚴苛場景，MTBF時間可達到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃)；
（6）搭載ST品牌的ARM芯片，人機交互簡單明了，強大的遠程調試通訊功能，無縫對接任意的應用場景，自主研發的軟件對實時采集的數據進行智能判斷并協調工作，可實現功率自匹配，穩定無變化；
（7）具有6種檢測功能：氣壓檢測、主板溫度檢測、變壓器弧壓檢測、變壓器初級峰值電流檢測，電網電流檢測，噴槍轉速檢測；
（8）等離子發生器同時支持射流噴槍、旋轉噴槍及線性寬幅，一鍵設置，隨時變換；
（9）具有過溫防護、過載防護、短路、斷路、漏電防護、各種誤操作保護等防護功能。

3、產品結構
結構：高壓數字電源發生器、等離子發生裝置噴槍與控制系統組成。
（1）高壓數字電源發生器：
等離子體的產生需要高壓激勵，本產品采用中頻電源進行激勵，數字化控制方式，可實現功率自匹配，保證功率的穩定輸出，且輸出精度高，輸出功率不受氣壓波動，市網電壓波動，噴槍電極老化等影響。參數需根據樣品實際情況進行調節，以便達到處理效果。
（2）等離子發生裝置噴槍：
半導體等離子清洗機搭配高速旋轉噴槍：主要處理大面積、形狀較復雜的材料，處理面積范圍20-80mm，可與原有的生產流水線搭配，實現全自動在線生產，節約人力成本。
（3）控制系統：
控制系統作用在于控制SPA-5800大氣等離子清洗機的運行，以及整體系統的保護。

4、產品規格 

2.5.2電源尺寸圖

三、規格要求
3.1 廠務規格要求

3.2 配置清單

注：耗材的使用壽命時間與現場的使用條件有關系，以下壽命時間僅供參考。